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光刻机作为业界最顶端的光刻机产品,当前只有ASML能做得出,因此,ASML在这一领域拥有100%。目前,ASML的EUV光刻机已经进入3nm节点,就连曾经光刻机领域的龙头老大——尼康都不是ASML的对手。

当前,尼康还停留在14nm节点,而作为我国唯一光刻机巨头的上海微电子,当前更是只有90nm节点光刻机。那么,国产光刻机如何才能实现突破呢?浸润式光刻机技术,是一个重要的光刻机突破口,一旦攻克这一难题,芯片有望进入10nm时代。而在当初,ASML能够实现弯道超车,也是依靠这一技术。

1984年ASML刚刚独立时,还是一个名不见经传的小角色。在当时,占据光刻机市场将近60%份额的尼康,是业界的霸主,而佳能则排名第二位。虽然,经过不断的追赶与对美国光刻机巨头SVGL的收购,到2000年,ASML的在光刻机市场的占比增长至37%,取代佳能成为行业第二。

但是,彼时的ASML与尼康之间仍有着难以跨越的差距。这时,台积电为追求更高的精度提出了浸润式技术,并在被尼康拒绝之后,选择与ASML合作。最终,在2004年,ASML凭借着193nm浸没式技术,打了一场漂亮的翻身仗。如今,ASML在光刻机市场占有64%的份额,而尼康则仅有13%。

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那么,浸润式技术究竟有何神奇之处?光刻机市场如今共有三大光源,汞灯光源、DUV光源与EUV光源。其中,汞灯光源早已是20年前的技术,而DUV光源的当前的使用还是很普遍。不过,DUV光源在进入到F2阶段时遇到困难,无法实现比157nm更高的精度shadowrocket小火箭怎么使用

而浸润式技术的提出则解决了这一问题。以水作为光刻机的介质,利用水的折射,从而将波长变小,以追求更高的精度。最终,浸没式技术能够将193nm波长的光源,等效为134nm波长光源。通过这一技术,光刻机不仅能达到10nm节点shadowrocket添加节点iplc,甚至是7nm节点。

而当前,上海微电子便是在浸润式技术上努力,其在2021年,将交付首台28nm浸润式光刻机shadowrocket小火箭怎么使用。据悉,经过多次操作,该光刻机也能够实现7nm芯片的制造,国产光刻机迎来了曙光。也希望该光刻机能尽快与大众见面,解决国产芯片的燃眉之急。shadowrocket添加shadowrocket小火箭怎么使用节点iplc

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